›› 2015, Vol. 37 ›› Issue (2): 115-117.doi: 10.16507/j.issn.1006-6055.2015.02.001
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王晓飞1，2 苏智琨2 裘祖荣，2 李杏华2 江尚良2
摘要：
针对半桥型电感测头，设计了幅值稳定的正弦波激励信号产生单元和相应的输出信号处理电路；分析了影响测量精度的主要原因，设计了基于反馈原理的激励信号稳幅模块；通过标定实验，采用分段线性插值法进行数据处理，该电感测头在±1mm的测量范围内，最大误差为1.2μm，线性度为0.06%，满足测量系统的要求。
中图分类号:
